Το Πρότυπο ISO 14644 διαμορφώθηκε αρχικά από το αμερικάνικο πρότυπο US Federal 209E που αναφέρονταν στο μικροσωματιδιακό φορτίο του χώρου αλλά και στις καθαρές ζώνες (διαβάθμιση κλάσης χώρων) .
Η ανάγκη για ένα ενιαίο πρότυπο αποτελούσε από καιρό θέμα συζητήσεων ώσπου δύο μεγάλα ινστιτούτα το ANSI και το IEST υπέβαλαν αίτηση και έτσι δημιουργήθηκε το πρότυπο ISO 14644 με την πρώτη δημοσίευση να τοποθετείτε το 1999, ISO 14644-1
Το 2000 η δεύτερη έκδοση του ISO δόθηκε στη δημοσιότητα ως 14644- 2 και με την οποία ξεκίνησε η διαδικασία ακύρωσης του FED-STD-209E.
Στις 29 Νοεμβρίου του 2001, το FED-STD-209E ακυρώθηκε και αντικαταστάθηκε από τα ISO 14644-1 και ISO 14644-2.
Το ISO 14644 πλέον αποτελείται από τα εξής:
ISO 14644-1
ISO 14644-2
ISO 14644-3
ISO 14644-4
ISO 14644-5
ISO 14644-6
ISO 14644-7
ISO 14644-8
ISO 14644-9
